上海至纯系统集成有限公司(以下称至纯集成)成立于2010年9月7日，注册资本为15000.0000万元整，是上海至纯洁净系统科技股份有限公司全资子公司，目前公司坐落于闵行区紫竹高新区的高新技术企业。
至纯集成致力于为泛半导体产业提供超高纯度的工艺介质系统，至今已经出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备超过16000台，为各个FAB厂提供干法和湿法工艺机台支持系统，至纯集成建设的**用于12英寸先进制程晶圆厂的大宗气体站将于2021年10月开始供气。通过不断地产品创新、研发设计提升产品的用户体验，为客户和用户持续创造价值。公司自成立以来，始终致力于高纯工艺系统从设计制造到安装调试的交付，目前高纯工艺系统业务线趋势呈持续增长，其中涉及的气体及化学品支持设备业务国产替代进展顺利，已经成为主流集成电路制造用户的认定品牌且出货量陡增。